高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法
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高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法
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简介: 高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法,它涉及一种基材蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法。本发明的目的是要解决现有基材蒸镀锂设备对金属锂的利用率低,蒸镀厚度为≤1μm,蒸镀时污染范围大的问题。高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备包括机体外壳、腔体挡板、放卷系统、基材加热器、主辊、冷却辊、收卷系统、坩埚、坩埚固定架、坩埚加热器、保温层、坩埚横移升降平台、放卷过渡辊、加热过渡辊、冷却过渡辊、上腔真空阀门、下腔真空阀门和加料可视窗口;方法:保证蒸镀厚度范围1μm~100μm之间可随时调整,金属锂最高利用率可达到90%以上。本发明主要用于基材蒸镀锂。
高速连续卷绕式真空蒸镀设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法,它涉及一种基材蒸镀锂设备及利用其实现基材蒸镀锂的方法。本发明的目的是要解决现有基材蒸镀锂设备对金属锂的利用率低,蒸镀厚度为≤1μm,蒸镀时污染范围大的问题。高速连续卷绕式真空蒸镀锂设备包括机体外壳、腔体挡板、放卷系统、基材加热器、主辊、冷却辊、收卷系统、坩埚、坩埚固定架、坩埚加热器、保温层、坩埚横移升降平台、放卷过渡辊、加热过渡辊、冷却过渡辊、上腔真空阀门、下腔真空阀门和加料可视窗口;方法:保证蒸镀厚度范围1μm~100μm之间可随时调整,金属锂最高利用率可达到90%以上。本发明主要用于基材蒸镀锂。
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