简介： 本发明提供了一种钴酸锂正极靶材的退火方法以及钴酸锂正极靶材。退火方法包括：将烧结好的钴酸锂正极靶材放入真空退火炉内，抽真空至第一设定真空度，并保持第一设定时长，然后通氮气，使真空退火炉内的气压高于外部大气压，并保持第二设定时长，之后再次抽真空至第二设定真空度，并保持第三设定时长；在预设的气氛条件下按照预设的升温程序进行退火处理；步骤C，抽真空至第三设定真空度，并保持第四设定时长，然后通氮气，使真空退火炉内的气压高于外部大气压，随炉缓慢冷却至室温，得到退火后的钴酸锂正极靶材。基于本发明所制备的钴酸锂正极靶材以及磁控溅射镀膜技术，制得的全固态薄膜锂电池的接触面电阻明显降低，显著提高了电池的性能。