简介： 本发明涉及一种六氟磷酸锂及低氟磷酸锂化合物废水处理工艺，它包括：S1，向废水中依次投入碱和含钙化合物，过滤沉淀物；S2，向废水中投入酸以及催化物；S3，向废水中投入碱，加热废水；S4，向废水中投入除磷剂。还涉及一种六氟磷酸锂及低氟磷酸锂化合物废水处理装置，它包括上下游设置的：碱析组件，所述碱析组件包括碱反应池Ⅰ和沉淀池Ⅰ；催化水解组件，所述催化水解组件包括酸反应池和设置在所述酸反应池中的催化物；碱性水解组件，所述碱性水解组件包括碱反应池Ⅱ和沉淀池Ⅱ；除磷组件，所述除磷组件包括除磷池和沉淀池Ⅲ。可以满足六氟磷酸锂及低氟磷酸锂化合物废水的总磷去除要求。