简介： 本发明涉及光学器件技术领域，尤其涉及一种铌酸锂光波导及通过钛扩散和VTE制备近化学计量比铌酸锂光波导的方法，包括基底以及位于所述基底上的波导层，所述基底采用铌酸锂晶体，所述波导层位于所述铌酸锂晶体的+z面,条波到的方向是铌酸锂晶体的y方向，在所述基底上制备波导层采用的是光刻工艺。所制备的光波导性能优良，损耗小，能够在各种光学研究中起到良好的作用，对钛扩散后的铌酸锂晶体采用富锂气相输运平衡处理，达到近化学计量比（NS，[Li]/[Nb]>99%）。近化学计量比铌酸锂晶体具有很多更加优异的性能：晶体缺陷少，光学均匀性好，具有更强的电光和非线性效应。钛扩散光波导具有波导性能优良，且损耗较小等优点。