简介： 一种全固态锂离子电池硅基负极极片的补锂方法，涉及硅基负极材料。1)制备锂靶；2)安装锂靶，通过手套箱与磁控溅射一体设备直接装入锂靶，以保证锂靶不被氧化；3)采用磁控溅射在硅基负极表面沉积锂薄膜；4)将在硅基负极表面沉积锂薄膜的电极片在手套箱中适当温度下进行加热反应，形成锂硅合金。5)将预锂化的硅负极与聚合物电解质及正极电极片组装为全固态电池。在硅基负极表面溅射锂金属进行补锂，沉积的锂金属薄膜非常均匀，有效提升补锂的均匀性。沉积的锂金属薄膜形貌和厚度可以通过磁控溅射的溅射参数进行调控；锂金属薄膜与硅基负极界面接触良好，不存在安全风险，可以成功应用于硅基负极全固态电池。