蒸发组件和方法
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蒸发组件和方法
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简介: 根据不同的实施方式,蒸发组件(100,300至900)可具有:多件式的壳体,该壳体(102)具有壳体槽(102w)和可从这个壳体槽上取下的壳体盖(102d);坩埚(104),其用于将容纳在该坩埚(104)中的蒸发物质从壳体(102)中热蒸发,该坩埚(104)具有至少一种耐高温材料;和坩埚保持结构(108),其将坩埚(104)保持在壳体槽(102w)内并且与该壳体槽保持空间分离,其中,壳体盖(102d)具有蒸汽流出口(102o),穿过该蒸汽流出口提供从壳体(102)中的热蒸发。
根据不同的实施方式,蒸发组件(100,300至900)可具有:多件式的壳体,该壳体(102)具有壳体槽(102w)和可从这个壳体槽上取下的壳体盖(102d);坩埚(104),其用于将容纳在该坩埚(104)中的蒸发物质从壳体(102)中热蒸发,该坩埚(104)具有至少一种耐高温材料;和坩埚保持结构(108),其将坩埚(104)保持在壳体槽(102w)内并且与该壳体槽保持空间分离,其中,壳体盖(102d)具有蒸汽流出口(102o),穿过该蒸汽流出口提供从壳体(102)中的热蒸发。
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标签:真空冶金
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