简介： 本申请公开了一种多晶硅全熔铸锭工艺及其用坩埚，属于光伏技术领域。该多晶硅全熔铸锭用坩埚包括坩埚本体和依次固定在坩埚内底部的石英砂和第一脱膜层，所述坩埚本体内侧面涂覆第二脱膜层。第一脱膜剂和第二脱膜剂均包含氮化硅。本申请的坩埚即可以防止多晶硅的氧化，又可以防止多晶硅锭的粘锅，坩埚底部的疏松粗糙表面提供了多种引晶方式，具有石英砂形核、缝隙形核和氮化硅形核，多种引晶并存缩短了多晶铸锭的周期，多晶铸锭的良率高。