简介： 本发明公开一种用于薄晶粒分离装置及方法,首先,使用由多个推针组成的分离装置使所述的晶粒从粘性膜表面部分脱离,进而使用一夹套夹取薄晶粒,并将薄晶粒自粘性膜的粘性表面分离;每个推针大体上对准该欲分离晶粒几何形状的角处,且与该晶粒边缘保持预定距离,并用以接触和抬起该粘性膜上未粘附该晶粒的一表面。