用于薄膜光伏应用的透明导电氧化物涂层及其生产方法
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用于薄膜光伏应用的透明导电氧化物涂层及其生产方法
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简介: 本发明提供一种具有改善的光性能和电性能的透明导电氧化物(TCO)薄膜及其生产方法。更具体地说,本发明提供TCO薄膜的在线生产方法,其可以改善TCO的光性能和生产后改善TCO的电性能。
本发明提供一种具有改善的光性能和电性能的透明导电氧化物(TCO)薄膜及其生产方法。更具体地说,本发明提供TCO薄膜的在线生产方法,其可以改善TCO的光性能和生产后改善TCO的电性能。
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标签:真空冶金
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