以二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法
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以二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及一种以高纯二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法,属于非金属矿深加工技术领域。以高纯H
2
为还原剂、以高纯SiO
2
为硅源,先在高温1250‑1300℃下通入H
2
,使SiO
2
被还原成SiO,O与H
2
反应生成H
2
O;然后再升温到1350℃通入H
2
,把温度控制在1350‑1400℃之间。此时SiO被H
2
还原成高纯Si,SiO中的O与H
2
发生氧化还原反应后生成H
2
O,整个制备过程对环境无任何污染。
本发明涉及一种以高纯二氧化硅和氢气为原料制备
多晶硅
的方法,属于非金属矿深加工技术领域。以高纯H
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为还原剂、以高纯SiO
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为硅源,先在高温1250‑1300℃下通入H
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,使SiO
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被还原成SiO,O与H
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反应生成H
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O;然后再升温到1350℃通入H
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,把温度控制在1350‑1400℃之间。此时SiO被H
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还原成高纯Si,SiO中的O与H
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发生氧化还原反应后生成H
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O,整个制备过程对环境无任何污染。
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标签:真空冶金
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