以二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法
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以二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种以高纯二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法,属于非金属矿深加工技术领域。以高纯H2为还原剂、以高纯SiO2为硅源,先在高温1250‑1300℃下通入H2,使SiO2被还原成SiO,O与H2反应生成H2O;然后再升温到1350℃通入H2,把温度控制在1350‑1400℃之间。此时SiO被H2还原成高纯Si,SiO中的O与H2发生氧化还原反应后生成H2O,整个制备过程对环境无任何污染。
本发明涉及一种以高纯二氧化硅和氢气为原料制备多晶硅的方法,属于非金属矿深加工技术领域。以高纯H2为还原剂、以高纯SiO2为硅源,先在高温1250‑1300℃下通入H2,使SiO2被还原成SiO,O与H2反应生成H2O;然后再升温到1350℃通入H2,把温度控制在1350‑1400℃之间。此时SiO被H2还原成高纯Si,SiO中的O与H2发生氧化还原反应后生成H2O,整个制备过程对环境无任何污染。
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标签:真空冶金
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