简介： 本发明提供了一种提高氮化铝覆铝封装衬板耐热循环可靠性的办法，本发明中，在氮化铝覆铝陶瓷基板表面溅射镀铜并进行真空扩散烧结，在铝表面层引入微量铜元素，形成均匀的铜铝固溶体硬化层，再对其进行表面进行化学镀镍处理在表面形成均匀镀镍层，处理后的氮化铝覆铝封装衬板在热循环前后的粗糙度对比相差不大，通过本方法，降低了镀层表面应力集中和镀层开裂情况，提高了氮化铝覆铝封装衬板在极端条件下的耐热循环可靠性。