沉积钨的金刚石粉以及复合铜粉的材料及其制备方法
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沉积钨的金刚石粉以及复合铜粉的材料及其制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明涉及一种在金刚石粉体上沉积钨的核壳材料的制备方法,包括:a,将金刚石粉体放入原子层沉积设备中,抽真空,设置温度为150~300℃,通入Si2H6;b,通入清扫气体吹扫过量的Si2H6及副产物;c,通入WF6;d,通入清扫气体吹扫过量的WF6及副产物;e,通入还原性前驱体;f,通入清扫气体吹扫过量的还原性前驱体及副产物;g,重复c~f步骤1~1000次,得到表面沉积钨的金刚石粉体核壳材料。使用本方法,金刚石粉体上的狭窄孔隙均可覆盖,通过控制沉积周期实现薄膜厚度的精确控制,涂层厚度达到纳米级别,同时,原子层间的原子依靠强烈的化学键连接,不会产生孔洞和裂隙,形成的涂层不易脱落,增强了金刚石与其他金属结合界面的润湿性。
本发明涉及一种在金刚石粉体上沉积钨的核壳材料的制备方法,包括:a,将金刚石粉体放入原子层沉积设备中,抽真空,设置温度为150~300℃,通入Si2H6;b,通入清扫气体吹扫过量的Si2H6及副产物;c,通入WF6;d,通入清扫气体吹扫过量的WF6及副产物;e,通入还原性前驱体;f,通入清扫气体吹扫过量的还原性前驱体及副产物;g,重复c~f步骤1~1000次,得到表面沉积钨的金刚石粉体核壳材料。使用本方法,金刚石粉体上的狭窄孔隙均可覆盖,通过控制沉积周期实现薄膜厚度的精确控制,涂层厚度达到纳米级别,同时,原子层间的原子依靠强烈的化学键连接,不会产生孔洞和裂隙,形成的涂层不易脱落,增强了金刚石与其他金属结合界面的润湿性。
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标签:真空冶金
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