简介： 本发明公开了一种钼镍基多元合金旋转靶材及其制备方法，旋转靶材原子组成是Mo_{100‑x‑y‑z}Ni_xTi_yAl_z，且X、Y、Z表示原子组成百分比，10≤X≤40，1≤Y≤20，1≤Z≤18；制备先将钼粉、电解镍粉和钛铝预合金粉末按比例混合，然后进行脱氧提纯处理、进行球磨混合、灌粉振实处理、冷等静压成型、脱模、真空卧式烧结、旋锻处理、退火处理得到钼镍钛铝合金管锭，最后通过机加工切片制成钼镍钛铝合金靶材。本发明制备过程能够减少杂质元素的引入，所生产靶材成分均匀、无偏析、晶粒细小，密度可达到理论值99%以上，能够完全满足目前大尺寸溅射靶材的镀膜要求。