简介:
热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法,钼材经过适当的1000℃~1500℃,100~200MPa热等静压处理,在致密度提高的基础上,可获得细小均匀的晶粒度并且强度和韧性均得到提高。在高温高压的共同作用下,被加工件的各向均衡受压,靶材的致密度高、均匀性好、性能优异,同时具有生产周期短、工序少、能耗低、后期加工材料损耗小等特点。
热等静压生产平板显示器用钼合金溅射靶材的方法,钼材经过适当的1000℃~1500℃,100~200MPa热等静压处理,在致密度提高的基础上,可获得细小均匀的晶粒度并且强度和韧性均得到提高。在高温高压的共同作用下,被加工件的各向均衡受压,靶材的致密度高、均匀性好、性能优异,同时具有生产周期短、工序少、能耗低、后期加工材料损耗小等特点。