简介： 本发明属于靶材制备技术领域，特别涉及一种铝铬合金靶材的制备工艺及其应用，靶材制备工艺包括步骤S1：合金粉末制备；步骤S2：将制备好的合金粉末装入包套中，通过螺栓和螺母固定方式将包套的左右两半块拼合固定，进行冷等静压处理；步骤S3：对合金靶材坯料进行第一次脱气处理；步骤S4：将步骤S3形成的合金靶材坯料进行第一次热等静压处理，并进行第二次脱气处理后取出包套；步骤S5：对第二次脱气处理后的料坯装入包套，进行第二次热等静压处理；步骤S6：对第二次热等静压处理的料坯取出包套，进行机加工和清洗处理，并进行真空热处理；步骤S7：在步骤S6获得的合金靶材表面修饰防腐层和隔热层。本申请致密性高，晶粒均匀，具有较好的机械性能。