简介： 本发明涉及一种铝钪合金靶坯及其制备方法及应用。其中，铝钪合金靶坯包括：16‑50重量份的钪，50‑84重量份的铝，铝钪合金靶坯的含氧量小于等于160ppm。上述铝钪合金靶坯具有钪含量高、含氧量低，进而使得制备的靶坯不会发生异常放电或粒子溅疤，能够保证后期高品质成膜。