简介： 本发明属于新材料领域，具体涉及一种AZO靶材的制备方法，包括：通过AZO原料制备AZO喷涂材料；以及将AZO喷涂材料通过喷涂方式制成AZO靶材。本申请的制备方法通过制备AZO喷涂材料和喷涂工艺两步制成AZO靶材，提高了靶材的均匀性，也简化了靶材的生产工艺，提高了生产效率，节约了生产成本。