简介： 本发明公开了一种控制钨硅靶材中非金属元素含量的方法，将混合粉体通过冷等静压成形，并进行高温真空脱气处理，再以吸氧性金属箔材隔离毛坯和石墨模具，经真空热压烧结得到钨硅靶材。该方法有助于钨硅靶材中易挥发非金属元素的脱除，有效地控制了钨硅靶材中的非金属元素含量，具有可操作性强、成本低的特点。