高可靠抗辐照玻璃钝化快恢复整流二极管制造方法
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高可靠抗辐照玻璃钝化快恢复整流二极管制造方法
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简介: 本发明提供的一种高可靠抗辐照玻璃钝化快恢复整流二极管制造方法,采用钼或钨作为电极引线,管芯采用铝作为焊料,芯片采用深结扩散工艺,台面造型为正斜角造型,该芯片结构降低表面电场,同时在进行玻璃钝化封装前,采用酸、碱腐蚀工艺及钝化工艺对芯片台面进行保护,然后采用特殊玻璃粉进行高温钝化封装成型;本发明芯片成正斜角,降低了器件的表面电场,提高了芯片表面的稳定性;在芯片腐蚀过程中最大限度的清洁了芯片表面,减少了界面电荷的影响,使器件具有良好的雪崩击穿性能,提升产品的可靠性;由于钝化层较厚,同时具有一定的含铅量使产品能在辐照条件下稳定工作。
本发明提供的一种高可靠抗辐照玻璃钝化快恢复整流二极管制造方法,采用钼或钨作为电极引线,管芯采用作为焊料,芯片采用深结扩散工艺,台面造型为正斜角造型,该芯片结构降低表面电场,同时在进行玻璃钝化封装前,采用酸、碱腐蚀工艺及钝化工艺对芯片台面进行保护,然后采用特殊玻璃粉进行高温钝化封装成型;本发明芯片成正斜角,降低了器件的表面电场,提高了芯片表面的稳定性;在芯片腐蚀过程中最大限度的清洁了芯片表面,减少了界面电荷的影响,使器件具有良好的雪崩击穿性能,提升产品的可靠性;由于钝化层较厚,同时具有一定的含量使产品能在辐照条件下稳定工作。
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标签:真空冶金
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