简介:
本发明提供一种磁光记录靶材及其生产工艺,属于光盘、磁光盘制造技术领域。利用轻、中稀土元素的高饱和磁化强度、高磁晶各向异性、高磁光效应的优点,对传统的铽铁钴磁光材料进行轻、中稀土掺杂。采用磁悬浮熔炼技术熔炼基靶合金,基靶合金成分为铁钴合金。将纯铽和轻稀土线切割成扇片或圆片,对称地镶嵌在铁钴合金基靶刻蚀最大的圆环区内制成复合靶,通过调节铽片、轻稀土片的数量与位置或改变基靶合金含量,来改变靶材成分。采用磁悬浮熔炼技术熔炼靶材合金,熔炼过程中,合金在磁场中被悬浮于坩埚中,同时在磁场作用下,对合金进行搅拌,保证合金成分的均匀性,并避免了因使用石英坩埚所导致的高成本和效率低的问题。用于光盘、磁光盘制造。
本发明提供一种磁光记录靶材及其生产工艺,属于光盘、磁光盘制造技术领域。利用轻、中
稀土元素的高饱和磁化强度、高磁晶各向异性、高磁光效应的优点,对传统的铽铁
钴磁光材料进行轻、中稀土掺杂。采用磁悬浮熔炼技术熔炼基靶合金,基靶合金成分为铁钴合金。将纯铽和轻稀土线切割成扇片或圆片,对称地镶嵌在铁钴合金基靶刻蚀最大的圆环区内制成复合靶,通过调节铽片、轻稀土片的数量与位置或改变基靶合金含量,来改变靶材成分。采用磁悬浮熔炼技术熔炼靶材合金,熔炼过程中,合金在磁场中被悬浮于坩埚中,同时在磁场作用下,对合金进行搅拌,保证合金成分的均匀性,并避免了因使用石英坩埚所导致的高成本和效率低的问题。用于光盘、磁光盘制造。