简介： 本发明公开了一种钛硅钼合金靶材及其制备方法，其制备方法包括：将硅粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合后的钼‑硅粉末烧结，获得钼硅合金块；将所述钼硅合金块破碎成钼硅合金粉；将钛粉与所述钼硅合金粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合均匀的所述钛粉与所述钼硅合金粉进行冷等静压压制，获得钛硅钼合金坯料；将所述钛硅钼合金坯料装入包套中，进行脱气处理；将经脱气处理的包套封焊后，通过热等静压烧结获得合金锭坯；将压制后的所述合金锭坯依次进行机加工和清洗，获得钛硅钼合金靶材。本发明制得的钛硅钼合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小，规格尺寸多等优点。