简介： 本发明涉及一种工业硅精炼提纯技术。一种工业硅真空电磁感应悬浮蒸馏精炼提纯方法，在真空电磁感应悬浮蒸馏炉内，将工业硅料在蒸发器中被电磁感应线圈感应加热蒸馏，经过一段时间蒸馏完成精炼提纯，得到精炼提纯后的硅液，其特殊之处是：电磁感应线圈是电磁感应悬浮线圈；蒸馏中之工业硅料呈电磁感应悬浮状态；精炼提纯后的硅液落入坩埚或于电磁感应悬浮中降温凝固后落入坩埚成为产品：工业硅料可是熔融液态的或固态的，其纯度为Si含量大于99.4％：电磁感应悬浮线圈的组成结构可与现有的工业硅真空电磁感应悬浮熔炼炉之相同；蒸馏温度和真空度可是1400℃-2000℃和10-1-10Pa：工业硅料是固态时，可先在炉外预热到600℃以上。可获得高纯工业硅。