稀土金属旋转靶材及其制造方法
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稀土金属旋转靶材及其制造方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提出了一种稀土金属旋转靶材及其制备方法,该稀土金属选择靶材的制备包括:S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的稀土金属粉末;S2、将稀土金属粉末装入模具中;S3、将模具放入冷等静压机内压制成型,得到素胚;S4、将素胚放入烧结炉中烧结,烧结温度为800‑1400℃,保温时间10‑80小时;S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度,加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产,制备得到的稀土旋转靶材质量好,具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低,提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。
本发明提出了一种稀土金属旋转靶材及其制备方法,该稀土金属选择靶材的制备包括:S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的稀土金属粉末;S2、将稀土金属粉末装入模具中;S3、将模具放入冷等静压机内压制成型,得到素胚;S4、将素胚放入烧结炉中烧结,烧结温度为800‑1400℃,保温时间10‑80小时;S5、对烧结好的靶材毛坯进行机加工成所需要的尺寸和精度,加工后的靶材绑定在金属圆管上得到稀土金属旋转靶材。本发明公开的稀土金属旋转靶材的制备方法工艺简单、耗能少、易于规模化生产,制备得到的稀土旋转靶材质量好,具体体现在密度高、无裂纹孔隙、良品率高、成本低,提高钕铁硼永磁材料的矫顽力。
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标签:真空冶金
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