高效率的电子烟双面加热片及其制备方法
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高效率的电子烟双面加热片及其制备方法
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简介: 本发明公开了一种高效率的电子烟双面加热片及其制备方法;本发明以绝缘陶瓷为基板,使用磁控溅射设备,在真空腔体中,将所需的金属层的金属或合金作为阴极靶材,通入氩气使其电离形成氩离子后轰击靶材,使靶材的固体原子或分子从靶材表面射出,溅射到陶瓷基板表面,形成目标的金属层。由钨、钼、改性氮化硼和纤维素纳米纤维制备保护釉层,化学镀金属电极,得到的一种高效率的电子烟双面加热片,具有低热阻、高热导率、高热稳定性和力学性能。
本发明公开了一种高效率的电子烟双面加热片及其制备方法;本发明以绝缘陶瓷为基板,使用磁控溅射设备,在真空腔体中,将所需的金属层的金属或合金作为阴极靶材,通入氩气使其电离形成氩离子后轰击靶材,使靶材的固体原子或分子从靶材表面射出,溅射到陶瓷基板表面,形成目标的金属层。由钨、钼、改性氮化硼和纤维素纳米纤维制备保护釉层,化学镀金属电极,得到的一种高效率的电子烟双面加热片,具有低热阻、高热导率、高热稳定性和力学性能。
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标签:真空冶金
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