简介： 本发明提供了一种铬铝硅镍四元合金靶材由以下成分构成：铬30‑95％铝3‑80at％，硅1‑20at％，镍1‑20at％，本发明提供的一种铬铝硅镍四元合金靶材的制备方法是先将铬粉、铝粉、硅粉及镍粉按所述配比均匀混合，经冷等静压预压制，然后将压块破碎、真空状态下进行预合金化，装套、脱气、热等静压烧结，最后将所制得的坯料进行机加工，得到铬铝硅镍四元合金靶材。本发明提供的铬铝硅镍四元合金靶材具有致密度高，无气孔、无疏松及偏析，晶粒细小、组织均匀等优点，能够适用于各种工模具所需的硬质涂层溅射使用。