场发射器件中钼与硅基底焊接的方法
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场发射器件中钼与硅基底焊接的方法
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简介: 本发明提供一种场发射器件中钼与硅基底焊接的方法,先在硅基底上蒸镀钼薄膜,然后将蒸镀钼薄膜的硅基底与钼片进行焊接,即在硅基底上镀一层钼保护层,起到阻隔钎料的作用,硅与钼片连接紧密不会断裂,大大提高了焊接强度。
本发明提供一种场发射器件中钼与硅基底焊接的方法,先在硅基底上蒸镀钼薄膜,然后将蒸镀钼薄膜的硅基底与钼片进行焊接,即在硅基底上镀一层钼保护层,起到阻隔钎料的作用,硅与钼片连接紧密不会断裂,大大提高了焊接强度。
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标签:真空冶金
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