具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用
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具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用,涉及新材料领域。该具有薄膜镀层的吸气剂,包括吸气剂基材及其表面的薄膜镀层,吸气剂基材的原料包括Zr粉和ZrVFe合金粉末,薄膜镀层为Ni层。Ni层可使H2分子在吸气剂表面的解离能降低,提高吸气剂的吸气性能,也可有效阻止O2等活性气体对吸气剂基材的氧化,从而降低吸气剂的激活温度。本发明提供的具有薄膜镀层的吸气剂可以在300~450℃烘烤过程中实现激活,能够很好地避免在激活过程中对器件的损伤。吸气剂激活后在室温条件下具有良好的吸气性能,可吸收电真空器件中的活性气体,提供器件封离后所需的真空度,保证器件的寿命及稳定性和可靠性。
本发明提供一种具有薄膜镀层的吸气剂及其制备方法和应用,涉及新材料领域。该具有薄膜镀层的吸气剂,包括吸气剂基材及其表面的薄膜镀层,吸气剂基材的原料包括Zr粉和ZrVFe合金粉末,薄膜镀层为Ni层。Ni层可使H2分子在吸气剂表面的解离能降低,提高吸气剂的吸气性能,也可有效阻止O2等活性气体对吸气剂基材的氧化,从而降低吸气剂的激活温度。本发明提供的具有薄膜镀层的吸气剂可以在300~450℃烘烤过程中实现激活,能够很好地避免在激活过程中对器件的损伤。吸气剂激活后在室温条件下具有良好的吸气性能,可吸收电真空器件中的活性气体,提供器件封离后所需的真空度,保证器件的寿命及稳定性和可靠性。
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标签:真空冶金
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