简介： 本发明公开了一种智能玻璃阳极电致变色层镀膜材料的制备方法，使用注浆成型加真空高温烧结的方式来制作相关靶材，藉由高温烧结过程中真空处理及添加第二种元素在氧化镍中，造成氧的空缺产生电载子移动性来提高材料的导电性，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧的产生，延长靶材寿命及利用率，提高溅镀薄膜质量及性能。溅镀时使用脉冲DC,AC或是MF等电源可以获得稳定的溅镀电弧,溅镀过程中只需通入少量的氧气,不易造成落尘,同时采用阶段升温烧结的工艺及在氩气中添加其他气体，溅镀成膜速率可以提高5‑10倍左右,并提高薄膜的平坦度及大面积的均匀度。