光子晶体反蛋白石薄膜的制备方法
来源:北方有色网
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简介:
本发明涉及一种光子晶体反蛋白石薄膜的制备方法,以二氧化硅作基片,以聚苯乙烯作正蛋白石模板材料,以五氯化钽作反蛋白石原料,以乙醇为溶剂,用垂直沉积法先制得正蛋白石凸形网状结构,膜层干燥烧结后成模板,用溶胶凝胶法填充制得反蛋白石凹形网状膜层,经高温烧结,制得反蛋白石凹形网状薄膜,该结构排列规整有序,具有完全带隙,网孔直径为310nm,与模板正蛋白的凸形直径近似相等,膜层厚度为4960nm,化学物理性能优良,可与多种化学物质匹配,此制备方法先进合理,工艺流程短,效果好,是十分理想的制备光子晶体反蛋白石薄膜的方法。
本发明涉及一种光子晶体反蛋白石薄膜的制备方法,以二氧化硅作基片,以聚苯乙烯作正蛋白石模板材料,以五氯化钽作反蛋白石原料,以乙醇为溶剂,用垂直沉积法先制得正蛋白石凸形网状结构,膜层干燥烧结后成模板,用溶胶凝胶法填充制得反蛋白石凹形网状膜层,经高温烧结,制得反蛋白石凹形网状薄膜,该结构排列规整有序,具有完全带隙,网孔直径为310nm,与模板正蛋白的凸形直径近似相等,膜层厚度为4960nm,化学物理性能优良,可与多种化学物质匹配,此制备方法先进合理,工艺流程短,效果好,是十分理想的制备光子晶体反蛋白石薄膜的方法。
标签:真空冶金
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