简介： 本发明提供了一种氧化亚硅材料及其制备方法和应用、装置，氧化亚硅材料包括硅、金属的硅酸盐以及硅/金属合金；金属的硅酸盐、硅/金属合金中的金属为碱金属、碱土金属中的一种或多种；制备方法包括以下步骤：在真空条件下，氧化亚硅蒸汽和金属蒸汽混合均匀后，再通过通管进入沉积腔中降温并进行共沉积。本发明通过让氧化亚硅蒸汽和金属蒸汽共沉积，金属蒸汽会与氧化亚硅中的活性硅形成一定的合金，提高材料的导电性，同时金属蒸汽会与氧化亚硅中的二氧化硅反应生成一定的硅酸盐，稳定材料结构的同时也可以让材料在首次充放电过程中的副反应减少，解决了氧化亚硅作为硅氧材料的导电性差和材料首效低的问题，同时本发明方法简单，易于操作。