镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法及装置
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镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法及装置
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简介: 本发明公开了一种采用镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法,包括:将高纯稀土氧化物与采用钙还原法制备高纯金属镧碎屑按一定比例混匀,装入不锈钢模具,压制成块状,放入真空还原炉坩锅中,抽真空加热蒸馏,顶部预置专用靶模收集得到稀土高纯金属胚体,对毛坯进行表面加工,得到稀土金属靶材。本发明所制得的稀土金属靶材工艺流程短,纯度高,成本低。
本发明公开了一种采用镧热还原法制备稀土金属靶材的制造方法,包括:将高纯稀土氧化物与采用钙还原法制备高纯金属镧碎屑按一定比例混匀,装入不锈钢模具,压制成块状,放入真空还原炉坩锅中,抽真空加热蒸馏,顶部预置专用靶模收集得到稀土高纯金属胚体,对毛坯进行表面加工,得到稀土金属靶材。本发明所制得的稀土金属靶材工艺流程短,纯度高,成本低。
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标签:真空冶金
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