简介： 本发明提供了一种氧化铝靶材的制备方法，属于靶材领域。本发明将靶材原料经混合球磨、喷雾干燥、压制成素坯、冷等静压压制、升温脱脂烧结以及升温有氧烧结后，先进行降温有氧烧结，再进行升温烧结，这样得到的氧化铝靶材密度更大，且无需进行真空烧结，对设备要求低，易于实现批量生产，并且能生产大尺寸平面靶材，如1m×1m的靶材，所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。