简介:
本发明公开了一种大尺寸钼铌靶材的制备方法,采用独特的球磨工艺,球磨机内衬材料与磨球均为钼或铌为母体的合金,引入的杂质很少,可保证靶材的高纯度;经球磨、真空烧结使粉末粒度均匀,烧结组织均匀,包套处理防止了钼铌靶材氧化或者氢化而生成脆性相,保证了钼铌合金的可塑性,解决了低成本大尺寸钼铌靶材的难题。本发明的效果和益处是在制造成本、产品性能、规模化生产和环境友好等方面都展现出显著的竞争优势和利润空间。
本发明公开了一种大尺寸钼铌靶材的制备方法,采用独特的球磨工艺,球磨机内衬材料与磨球均为钼或铌为母体的合金,引入的杂质很少,可保证靶材的高纯度;经球磨、真空烧结使粉末粒度均匀,烧结组织均匀,包套处理防止了钼铌靶材氧化或者氢化而生成脆性相,保证了钼铌合金的可塑性,解决了低成本大尺寸钼铌靶材的难题。本发明的效果和益处是在制造成本、产品性能、规模化生产和环境友好等方面都展现出显著的竞争优势和利润空间。