简介： 本发明提供一种高纯度钽钌合金靶材及其制备方法，将市售的纯度为99.9％的钌粉和钽粉分别经真空高温升华提纯至纯度大于99.995％的钌粉和钽粉，经球磨混合后，经冷等静压压成块状，真空烧结熔炼，得到高纯度钽钌合金锭，然后高纯度钽钌合金锭经横向热锻，退火处理，热轧，冷轧，结晶退火处理，得到高纯度钽钌合金靶材。本发明的钌粉和钽粉的提纯工艺简单，提纯纯度高，深度去除Ca、Cr、Co、Cu、Cd、Cl、Fe、K、Li、Mg、Na、Ni，制备的靶材成分均匀、纯度高、晶粒细小，氧含量低，面积大，厚度薄。