抗粉化块体吸气剂的制备方法
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抗粉化块体吸气剂的制备方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明公布了一种抗粉化块体吸气剂的制备方法,所述方法包括如下步骤:将吸气合金中的原料按一定比例进行配制,通过熔炼的方法制备成合金,然后对合金在保护气氛下进行破碎和球磨;将吸气合金粉末与0.1~70%wt%钛及钛合金纤维均匀混合形成合金混合物;将上述合金混合物在钢性模具中进行压制形成压坯;在真空度为3~5×10‑3 Pa的真空环境下,对压坯进行真空烧结,即可得到抗粉化能力强的块体吸气剂。本发明产生的块体吸气剂产品,在MEMS晶元级封装中具有较好的韧性,克服了产品使用过程中掉粉掉渣的现象,能够维持晶元封装后在振动环境下较好的真空度,有利于延长使用寿命,并且结构设计简单,适合大批量生产,可以有效地满足用户的需求。
本发明公布了一种抗粉化块体吸气剂的制备方法,所述方法包括如下步骤:将吸气合金中的原料按一定比例进行配制,通过熔炼的方法制备成合金,然后对合金在保护气氛下进行破碎和球磨;将吸气合金粉末与0.1~70%wt%钛及钛合金纤维均匀混合形成合金混合物;将上述合金混合物在钢性模具中进行压制形成压坯;在真空度为3~5×10‑3 Pa的真空环境下,对压坯进行真空烧结,即可得到抗粉化能力强的块体吸气剂。本发明产生的块体吸气剂产品,在MEMS晶元级封装中具有较好的韧性,克服了产品使用过程中掉粉掉渣的现象,能够维持晶元封装后在振动环境下较好的真空度,有利于延长使用寿命,并且结构设计简单,适合大批量生产,可以有效地满足用户的需求。
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标签:真空冶金
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