简介： 本申请公开了一种碳化硅复合材料制备方法，包括：取碳纳米管和碳化硅粉，二者固体成份比例范围为2：98到5：95；将碳纳米管配制成浓度3％‑10％的碳纳米管水溶液；将碳化硅粉投入所述碳纳米管水溶液，球磨制成碳化硅混合浆料；将所述碳化硅混合浆料制成碳化硅复合坯体；将所述碳化硅复合坯体真空烧结，制成碳化硅复合材料。一种碳化硅复合材料，由碳纳米管和碳化硅制成，其中碳纳米管的固体含量为2％～5％(质量)，其余为碳化硅。本发明解决了半导体用碳化硅陶瓷机械加工时崩瓷问题，进一步提高了产品合格率和碳化硅陶瓷韧性，增强了碳化硅材料抗弯强度。