简介： 本发明提供了一种低氧钽靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)将钽源置于氢化装置并抽真空，通入氢气加热，待氢化装置内压力不再下降时停止加热，得到氢化钽源；(2)将步骤(1)所述氢化钽源依次进行破碎和热处理后，得到脱氢钽粉；(3)将步骤(2)所述脱氢钽粉依次进行冷等静压、真空烧结、脱气处理和热等静压，得到低氧钽靶材。本发明将脱氢钽粉采用冷等静压、真空烧结和热等静压相结合的方式，大大降低钽靶材的氧含量，钽靶材的氧含量低于100ppm，同时保证了钽靶材的纯度和致密度，致密度高达99.9％，纯度高达99.9999％，具有较好的工业应用前景。