简介： 本实用新型属于复合材料制造设备领域,涉及对化学气相共沉积与渗透设备使用的尾气处理装置的改进。本实用新型的特征在于,通过管路依次将水冷过滤器、冷冻过滤器、复合过滤器、真空泵、碱液过滤器和放空燃烧结构串联为四级尾气处理装置,本实用新型结构简单;操作方便;尾气处理能力强;可同时或单独对化学气相沉积与渗透工艺的尾气煤焦油和氯化氢进行处理。