简介： 形成超细粒 子薄膜的方法，包括以下步 骤：在真空下设置基体，该 基体具有带底孔、通孔、或 槽；在孔，通孔或槽的内壁 表面上应用超细粒子的悬 浮微粒，所述悬浮微粒在高 于102pa的压力下分散和飘浮在气体中；以及悬浮微粒扩散和 吸附到内壁表面上。用于形成超细粒子薄膜的装置，包括：悬浮 微粒的发生装置；支承机构；加热机构；压力调节机构；薄膜形成 容器；以及真空系统。