简介： 本实用新型公开了一种超声波喷雾微波管式炉，属于喷雾热解法制备氧化物薄膜与粉末冶金领域。本实用新型所述超声波喷雾微波管式炉包括空气压缩泵、转子流量器、超声波喷雾器、超声波造雾振动盘、雾滴、石英玻璃导管、石英玻璃管、微波加热装置、微波发生器、石英玻璃片、辅助加热材料、保温材料、粉体缓冲沉降瓶、粉体、粉体收集瓶、第一级碱液吸收尾气装置、第二级碱液吸收尾气装置；本实用新型工艺过程操作简单，成本低廉，合理的利用物料，与传统法喷雾法在高温玻璃片寸底相比减少了物料的浪费。创造了通过超声波喷雾热解法与微波管式加热炉联合同时制备ITO薄膜与粉体的可能。