电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚
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电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚
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简介: 本实用新型公开了一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,由坩埚外壳及位于其内的坩埚体组合构成,在两者之间夹置有隔水套;在坩埚体上套有螺旋槽水套,该螺旋槽水套紧夹置于坩埚体和隔水套之间。其冷却效率高,寿命长,易于更换和使用,是实现低成本、高品质的冶金物理法制备太阳能级多晶硅的有效设备。
本实用新型公开了一种电子束多晶硅提纯用铸锭坩埚,由坩埚外壳及位于其内的坩埚体组合构成,在两者之间夹置有隔水套;在坩埚体上套有螺旋槽水套,该螺旋槽水套紧夹置于坩埚体和隔水套之间。其冷却效率高,寿命长,易于更换和使用,是实现低成本、高品质的冶金物理法制备太阳能级多晶硅的有效设备。
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标签:电冶金技术
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