简介： 本发明涉及冶金及压力加工领域，公开了一种调质均质靶板的制造方法，该方法包括将钢锭依次进行压机锻制、退火处理、机械加工处理和调质处理，退火处理采用包括如下过程的步骤进行：将压机锻制后得到的靶板以升温至第一温度，并在该第一温度下保持2～4h；将靶板升温至第二温度，并在该第二温度下保持4～6h；将靶板降至第三温度，并在该第三温度下保持5～7h；将靶板升温至第四温度，并在该第四温度下保持25～35h；将靶板降温至350～450℃，然后降温至200℃以下。由本发明的上述方法制造得到的调质均质靶板的平面组织均匀、硬度均匀且性能的各向异性小。