石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
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石墨管取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
来源:北方有色网
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简介: 本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中,将硅料熔化进行定向凝固;待凝固完成85~90%时,停止拉锭,将石墨管伸入剩余硅熔体中,向真空腔室通入惰性气体,使剩余硅熔体在压力差作用下进入石墨管,继续拉锭,待坩埚上端离开加热区后,将水冷坩埚伸至石墨管正下方,停止通入惰性气体,对真空腔室抽真空,石墨管中的剩余硅熔体下落至水冷坩埚中冷却凝固;切断电源,停止加热,坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,该发明设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化生产。
本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料式定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中,将硅料熔化进行定向凝固;待凝固完成85~90%时,停止拉锭,将石墨管伸入剩余硅熔体中,向真空腔室通入惰性气体,使剩余硅熔体在压力差作用下进入石墨管,继续拉锭,待坩埚上端离开加热区后,将水冷坩埚伸至石墨管正下方,停止通入惰性气体,对真空腔室抽真空,石墨管中的剩余硅熔体下落至水冷坩埚中冷却凝固;切断电源,停止加热,坩埚中凝固得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,该发明设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本,适用于工业化生产。
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标签:电冶金技术
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