氮化钛膜制备方法
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氮化钛膜制备方法
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简介: 本发明公开了一种氮化钛膜制备方法。本发明提供的利用真空电弧离子镀技术制备的氮化钛膜,通过对电弧离子镀技术中氮分压逐渐增强的沉积方式进行镀膜。该工艺方法设计合理,在粉末冶金材料GT35上通过克服材料变形、膜层内应力集中、膜层在锐边夹角容易崩落、长时间沉积厚膜等的种种难题,解决了氮化钛硬质膜厚度在8μm以上无法制备的现状,得到了膜层厚度、硬度、结合力等性能均优良的氮化钛膜。
本发明公开了一种氮化钛膜制备方法。本发明提供的利用真空电弧离子镀技术制备的氮化钛膜,通过对电弧离子镀技术中氮分压逐渐增强的沉积方式进行镀膜。该工艺方法设计合理,在粉末冶金材料GT35上通过克服材料变形、膜层内应力集中、膜层在锐边夹角容易崩落、长时间沉积厚膜等的种种难题,解决了氮化钛硬质膜厚度在8μm以上无法制备的现状,得到了膜层厚度、硬度、结合力等性能均优良的氮化钛膜。
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标签:电冶金技术
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