简介： 本发明公开了一种制备金属微纳米空心球粉末的装置,包括工作液箱、浸入在工作液中的工件电极和工具电极、超声波装置、脉冲电源装置和伺服进给装置,工件电极和工具电极对应设置,两电极之间通过伺服进给装置保持火花放电间隙,与脉冲电源装置输出接口连接,超声波装置的超声波振子对着工件电极和工具电极之间的间隙设置,超声波振子至少为1个。采用本发明的装置制备金属微纳米空心球粉末,空心球中空程度高,粒径分布在20纳米到50微米之间,壁厚不大于1微米,空心球比例高,由于其在物理、化学、电磁学及光学方面的优异性能,可广泛应用于化学、冶金、材料、航天等领域。本发明的金属微纳米空心球粉末制备装置,结构简单,加工条件要求低,操作容易,生产成本低。