简介： 本发明公开了一种在钛合金表面制备钽扩散层的方法，属于材料表面改性技术领域。该方法利用等离子表面冶金技术，通过对靶材形状、源/工件极间距以及渗金属温度进行优化，使得源极溅射率及元素利用率达到最佳，渗钽结束后关闭源极及阴极电源、机械泵，通入大量氩气快速冷却，促使内应力得到快速释放，最终采用常规物理方法去除沉积层，得到表面含钽扩散层的钛合金。该方法制备的样品耐磨性、硬度均有显著提高，扩散层与基体结合强度高，并且具有操作简便、重复性好、成本低廉的特点因此可广泛应用于钛合金表面改性。