简介： 本发明涉及一种在加氢脱氯反应器中使四氯化硅与氢气反应生成三氯硅烷的方法，其中该加氢脱氯反应器是压力驱动的，并且包含一个或多个由陶瓷材料制成的反应器管。本发明进一步涉及这样的加氢脱氯反应器的用途，其用作由冶金硅来生产三氯硅烷的设备中的整体部件。