真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
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真空抽取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备
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简介: 本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中,将硅料熔化形成硅熔体保温;进行定向凝固;待凝固完成85~90%时,停止拉锭,将石英管伸入剩余硅熔体中,之后用真空装置对石英管另一端抽真空,剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管中,继续向下拉锭,待坩埚离开加热区后,将尾料收集箱伸至石英管正下方;切断电源,停止加热,石英管胀裂后随尾料下落至尾料收集箱中,坩埚得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质的反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,在凝固结束阶段实现杂质富集区的直接分离,该设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本。
本发明属于冶金提纯技术领域,特别涉及一种取尾料进行定向凝固提纯多晶硅的方法及设备。该方法是在惰性气体中,将硅料熔化形成硅熔体保温;进行定向凝固;待凝固完成85~90%时,停止拉锭,将石英管伸入剩余硅熔体中,之后用真空装置对石英管另一端抽真空,剩余硅熔体在压力差作用下进入石英管中,继续向下拉锭,待坩埚离开加热区后,将尾料收集箱伸至石英管正下方;切断电源,停止加热,石英管胀裂后随尾料下落至尾料收集箱中,坩埚得到的铸锭为高纯硅铸锭。本发明防止了杂质的反扩散,减少了工艺,提高了铸锭的出成率,在凝固结束阶段实现杂质富集区的直接分离,该设备改造安装方便,操作简单,能有效去除铸锭尾部富集的杂质,节约了生产周期和成本。
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标签:电冶金技术
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