简介： 本发明公开了一种超细球形钨粉及其制备方法，属于粉末冶金技术领域。本发明以粗钨酸铵为原料，采用化学精炼法制得球形钨粉，其方法包括离子交换、溶剂萃取、蒸发结晶、雾化造粒和微波煅烧，最后制得超细球形钨粉。本发明制得的超细球形钨粉纯度为大于99.995wt％以上，粒径为0.1～3μm，振实密度为5.1～6.3g/cm3，粉体流动性好。该钨粉可用于生产溅射靶材和半导体元器件，是大规模集成电路关键原材料，市场需求巨大，应用前景广阔。同时，该制粉工艺也可用于指导生产其他金属粉体。