简介： 本申请涉及粉末冶金材料的技术领域，具体公开了一种多元合金靶材及其制备方法。一种多元合金靶材，由以下原子百分比的元素组成，镍20‑35%、钒20‑25%、钼20‑25%、钨20‑35%。其制备方法：首先将钼粉与镍粉混料制备成MoNi合金粉末，再将MoNi合金粉末与其他粉末进行混料，最后进行HIP烧结和机加工。本申请制备的靶材具有致密度高，可达99%以上、合金化程度高，无气孔和偏析，组织均匀等优点。另外，本申请的制备方法能够使熔点不同的元素进行HIP烧结，并且能保证熔点不同的元素在靶材中所占比例达到要求。